PJ-TALD-150

設(shè)備規(guī)格

工藝溫度：溫度范圍：RT~300°C （可定制）

前驅(qū)體路數(shù)：最大支持3路前驅(qū)體氣路（可定制)，包含固、液態(tài)前驅(qū)體源瓶

加熱系統(tǒng)：可加熱溫度范圍：RT~300℃

控制系統(tǒng)

? 控制系統(tǒng)采用 PLC+工控機(jī)+16寸觸摸屏方式實(shí)現(xiàn)，系統(tǒng)通過高速以太網(wǎng)進(jìn)行通訊。

? 采用 PLC 對(duì)設(shè)備進(jìn)行實(shí)時(shí)控制，支持歷史數(shù)據(jù)、工藝配方、報(bào)警及日志的儲(chǔ)存和導(dǎo)入導(dǎo)出的功能

? 設(shè)備支持“一鍵沉積”功能，點(diǎn)擊運(yùn)行按鍵即可自動(dòng)完成真空抽取、升溫、材料沉積、降溫等一系列步驟。實(shí)現(xiàn)單一或多層材料的沉積；提供獨(dú)立的手動(dòng)操作頁(yè)面，支持手動(dòng)開關(guān)閥門的操作，人機(jī)交互同時(shí)支持鼠標(biāo)、鍵盤和觸摸的輸入方式

? 設(shè)備運(yùn)行軟件提供用戶權(quán)限管理功能，可根據(jù)用戶級(jí)別設(shè)定使用權(quán)限，防止誤操作，保證設(shè)備和人身安全

? 設(shè)備運(yùn)行軟件提供邏輯互鎖功能，防止用戶誤操作，并彈出信息對(duì)話框進(jìn)行提示

? 設(shè)備運(yùn)行軟件集成安全及參數(shù)配置、IO互鎖列表信息功能

薄膜種類：AL2O3、SNO2、SIO2、HFO2、ALN、TIN

晶圓尺寸：4寸以下兼容